Pellicle Mounter

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MPM-6000V

※ MPM-6000V / MPM-6000V-U


  • 在半导体Wafer用 Photo Mask上,自动紧密胶合 Pellicle。
  • 自动Align Photo Mask,最少化Pellicle Shift。
    (Vision system)
  • 手动Loading/Unloading Photo Mask 及 Pellicle。
    (6" Photo Mask 专用设备)
  • 均等传达并显示Pellicle Mounting压力。

SPECIFICATION

Dimension (mm)

- MPM-6000V    : 770 (W) x 350 (D) x 560 (H)

- MPM-6000V-U : 830 (W) x 680 (D) x 1280 (H)

Weight (kg)

- MPM-6000V    : Approximately 50 kg

- MPM-6000V-U : Approximately 130 kg

Pellicle Shift

150 ㎛

Pellicle Rotation

80 ㎛

Mounting Pressure1~30 kg
Mounting Time1~9999 sec

Mounting Method

- Mask Auto Align

- Control Mounting Pressure & Position & Speed

Equipment Condition

- Auto-align function by a vision system

- Edit Recipe & Process Log Save

- PLC Control
- Touch Screen & Switch Operation (HMI)

- 6" Photo Mask
- Equipment Safety : CE or S2, S8 Certification

Option

- PC

- Barcode Reading System  

Utility - Power : 1Phase AC200~220V, 50/60Hz
- Exhaust : Φ60 mm ( >100 Pa)