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MSO-6200

  • Reticle Pod 안에 있는 Photo Mask를 작업자가
    설정한 대로 회전하거나 반전하는 기능을 한다.
    (Rotation : 0°,90°,180°,270° / Flip : 0°,180°)
  • 조작하기 쉬우며 문제 발생 시 단순 조작으로
    문제 없이 자동으로 복귀 한다.

SPECIFICATION

Dimension (mm)

622 (W) x 571 (D) x 1090 (H)

Weight (kg)

Approximately 145 kg

Remarks

- Mask Single Pod Open/Close

- Mask Rotate (0° , 90° , 180° , 270°)

- Mask Flip (0° , 180°)

- Auto Recovery

- Mask Protection Interface & Interlock

Control System

- PLC & Touch Screen (HMI)

Option

- ULPA Filter

- Ionizer System

Utility

- Power : 1Phase AC200~220V, 50/60Hz

- Exhaust : ¼”  ( >100 Pa)